3 晶圆传送盒（FOUP） Stage 设备前端模块（EFEM）

加载互锁真空室(LOAD LOCK Chamber, 除气或者冷却)

2 转移室（Transfer Chambers）

2 Slot Pass-Thru Stage

除气室或者冷却室1，2 (DEGAS OR COOL Chamber 1,2)

2 预先清理室 (Pre-Clean Chambers)

CH #1 : 溅射室(Deposition Chamber)

CH #2 : 溅射室(Deposition Chamber)

CH #3 : 溅射室(Deposition Chamber)

CH #4 : 溅射室(Deposition Chamber)

4 Slot PEC Station3 BROOKS FOUPS EFEM System

1 设备前端模块的BROOKS ATR8 机器人

2 转移室的BROOKS MAG7 机器人

6 CTI OB-IS 低温泵 (CYRO Pumps)

2 CTI 氦气压气机 (Helium Compressors)

2~5 PFEIFFER 分子泵(Turbo Pumps)

5 干泵(DRY Pumps)